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半導體制造設備

宣傳畫冊

半導體制造設備
金剛線線切機/截斷機

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TCSS-200型雙工位線切機


設備型號

TCSS-200A型單工位線切機

TCSS-200B型雙工位線切機

TCSS-200L型單線截斷機


適用范圍

光學玻璃、石英玻璃、藍寶石等;

半導體晶硅;

碳化硅、氮化鎵等第三代半導體材料;

稀土永磁;

壓電陶瓷、磁性陶瓷、光學陶瓷、石英陶瓷等;

其他非金屬硬脆材料


加工精度

項目TCSS-200B型雙工位線切機TCSS-200A型單工位線切機TCSS-200L型單線截斷機
平面度(mm)≤0.03≤0.03≤0.05
平行度(mm)≤0.03≤0.03≤0.05
一致性(mm)±0.05±0.05±0.05
表面粗糙度(Ra)≤0.5≤0.5≤0.6
切縫寬度偏差±5%±5%±5%


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